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液氮在半導體制造上的應用

發(fā)布日期： 2024-03-12 內容來源于： http://bsxbb.cn/

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(1)在氧化、擴散等制造工藝過程中，設置液氮冷阱來去除氣體中的水分。


(2)在掃描電子顯微鏡中，檢測信號用的Si-Li探測器，必須一刻不離地采用液氮來冷卻。


(3)有時為了檢測元器件受冷熱循環(huán)作用的影響效果，可采用液氮。

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